【Hitachi】日立扫描电子显微镜S-3400N

【Hitachi】日立扫描电子显微镜S-3400N

参考价:面议
型号: S-3400N
产地: 日本
品牌: 日立
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产品详情
仪器简介:

S-3400N具有最新开发的电子光学系统,具有更多的自动化功能,操作界面更友好。



技术参数:
项目                     描述
SE分辨率                3.0 nm (30 kV),高真空模式
                        10 nm (3 kV), 高真空模式
BSE分辨率               4.0 nm (30 kV),低真空模式
放大倍率                ×5~×300,000
加速电压                0.3~30 kV
低真空范围              6~270 Pa
最大样品尺寸            直径200 mm
样品台                  I型                 II型
X                       0~80 mm            0~100 mm
Y                       0~40 mm            0~50 mm
Z                       5~35 mm            5~65 mm
R                       360º                360º
T                       -20~+90º           -20~+90º
最大样品高度            35 mm (WD=10 mm)    80 mm (WD=10 mm)
马达驱动                手动                五轴马达驱动
电子枪                  预对中钨灯丝
物镜光栏                可移动式4孔物镜光栏
枪偏压                  四阶梯度偏压
检测器                  二次电子检测器
                        高灵敏度半导体背散射电子检测器
分析位置                WD=10 mm, TOA=35o
控制                    鼠标、键盘,手动旋钮
自自动调校             自动灯丝饱和、自动四偏压、自动枪对中、自动束流设定、
                       自动合轴、自动聚焦消像散、自动亮度对比度

主要特点:

特点: 
1. S-3400N具有强大的自动功能,包括自动灯丝饱和、4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴自动聚焦和消像散、自动亮度对比度等。
2. 在3kV低加速电压时保证有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高灵敏半导体式背散射探头,可在低加速电压下成像。
4. S-3400N II型具有五轴马达台,倾斜角度可达-20度~+90度,样品最高可达80mm。
5. 分析样品室可以同时安装EDS,WDS 及EBSD等附件。
6. 真空系统使用涡轮分子泵,洁净、高效。

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