型号: | XE-15 |
产地: | 韩国 |
品牌: | Park 原子力 |
评分: |
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仪器简介:
Park XE-15具有全面的样品兼容性。其多种样品台设计,为不同尺寸、形状、数量的样品提供了方便可靠的测试环境。解耦合的闭环XY扫描器,消除了弯曲效应误差,提供了无与伦比的线性度。真正的非接触扫描模式,扩大了适合样品种类,同时极大地延长了探针寿命,降低了使用成本。
技术参数:
扫描器
XY扫描器
柔性制导闭环控制单模块扫描器
扫描范围100μm*100μm(可选50μm*50μm)
平面偏移度:<2nm(40μm*40μm扫描)
Z扫描器
柔性制导强力扫描器
扫描范围12μm(可选25μm)
共振频率:>5kHz
表面成像噪声:0.03nm
样品台
样品台种类:16位点样品台/150mm直径真空吸附台(可选200mm直径真空吸附台)
样品尺寸: 150mm*150mm*20mm
样品重量:最大500g
样品台移动范围:150mm*150mm(可选200mm*200mm)
主要特点:
一、创新的多位点样品台设计,提供工作效率
●一次操作最多可以扫描16个样品
●样品安放简单,扫描迅速
●极大提高了数据的精确性和重复性
二、支持超大样品,满足业界发展需要
●最大支持200 mm晶圆,满足用户目前和今后的需要
●满足半导体相关用户实际需要的专门设计
三、丰富的功能模式选择
●完善支持各种SPM功能
●支持多种选配测量模式
●支持各种可选配件,扩展性能优越
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