【Hitachi】SU-70日立分析型热场发射扫描电镜

【Hitachi】SU-70日立分析型热场发射扫描电镜

参考价：¥300万 - 400万
型号： SU-70
产地： 日本
品牌： 日立
评分：
应用领域：
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核心参数
创新点
在场发射扫描电镜的高分辨应用中，如何从样品出射的各种信息中提取出特定的信息一直是一个难点，尤其是在观测有荷电的样品，荷电和边界效应均会对观测产生很强干扰，从而无法感测到真实的样品表面形貌。日立开发的ExB专利技术和半内透镜技术相结合，很好的结决了这一难题，通过电场和磁场的共同作用，可以选择特定能量范围的二次电子、被散射电子分别成像或混合成像，屏蔽干扰，从而有效地观测样品微观形貌信息和成分信息，SU-70的低加速电压的分辨率接近了冷场发射扫描电镜，处于国际领先水平。 在电镜透镜设计中高分辨和高探针电流是两个不同的设计方向，以往是通过设计两台设备分别满足不同的应用，SU-70通过独特的双物镜设计实现了两种应用的灵活切换，处于国际领先水平。
天美仪拓实验室设备（上海）有限公司
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产品详情

仪器简介：

    为了满足在同一台仪器上进行综合分析(需要大探针电流)和超高分辨率观察的需求，日立开发了SU-70。它采用成熟的超高分辨率半内透镜技术和热场发射电子枪，为探索纳米世界打开了一扇新的大门。



技术参数：

二次电子图象分辨率:
1.0nm(15KV.WD=4.0mm)
1.6nm(1KV.WD=1.5mm,减速模式)
2.5nm(1KV.WD=1.5mm)

放大倍数:
低放大倍数模式 20-2,000x
高放大倍数模式 100-800,000x

电子光学:
电子枪 ZrO/W 肖特基电子枪
电流 1pA-100nA
加速电压 0.5-30KV(标准模式)
着陆电压 0.1-2.0KV(减速模式)
透镜系统 3级电磁线圈系统
物镜光阑 4孔光阑,真空外选择和细调

样品台:
样品台控制 5轴马达控制
移动范围
X 0-110mm
Y 0-110mm
z 1.5-40mm
T -0.5O-+700
R 360O
样品尺寸 直径150mm(标准)
(最大) 直径200mm(可选)

探测器:
二次电子探测器
背散射电子探测器(可选)
STEM探测器(可选)
法拉第杯(可选)
X射线能谱仪(可选)
X射线波谱仪(可选)
EBSP探测器(可选)
阴极荧光探测器(可选)



主要特点：

     日立SU 70型热场发射电镜的物镜设计与以往有很大不同，它集成了广受好评的S-4800的半内透镜和ExB技术，可完成样品微观结构的高分辨观测；同时新设计的无外泄磁场观测模式能提供强大的探针电流，可以适应各种扩展分析的需求，是第一款集高分辨和高分析能力于一身的新型热场发射扫描电镜。

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