表征玻璃基底上的ZrO2薄膜

2016-12-13 21:08  下载量：6

资料摘要

资料下载

The deposition method and conditions used for preparation of the ZrO films have resulted in generation of an inhomogeneous porous layer. Owing to the sensitivity of the UVISEL Spectroscopic Phase Modulated Ellipsometer and software it is possible to detect this layer, and to characterise its composition while at the same time measuring the film thicknesses and optical constants.

资料下载

文献贡献者

HORIBA（中国）
白金会员 | 第22年
查看全部资料
相关资料 更多

相关产品

当前位置： HORIBA 资料 表征玻璃基底上的ZrO2薄膜

关注

拨打电话

留言咨询