型号: | SPM300系列 |
产地: | 北京 |
品牌: | 卓立汉光 |
评分: |
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SPM300系列半导体参数测试仪设备概览
基于拉曼光谱法的半导体参数测试仪,具有非接触、无损检测、特异性高的优点。可以对半导体材料进行微区分析,空间分辨率< 800nm (典型值),也可以对样品进行扫描从而对整个面进行均匀性分析。设备具有智能化的软件,可对数据进行拟合计算,直接将载流子浓度、晶化率、应力大小或者分布等结果直观的展现给用户。系统稳定,重复性好,可用于实验室检验或者产线监测。
① 光路接口盒:
内置常用激光器及激光片组,拓展激光器包含自由光及单模光纤输入;
② 光路转向控制:
光路转向控制可向下或向左,与原子力、低温、探针台等设备连用,可升级振镜选项
③ 明视场相机:
明视场相机代替目镜
④ 显微镜:
正置科研级金相显微镜,标配落射式明暗场照明,其它照明方式可升级
⑤ 电动位移台:
75mm*50mm 行程高精度电动载物台,1μm 定位精度
⑥ 光纤共聚焦耦合:
光纤共聚焦耦合为可选项,提高空间分辨率
⑦ CCD- 狭缝共聚焦耦合:
标配CCD- 狭缝耦合方式,可使用光谱仪成像模式,高光通量
⑧ 光谱CCD:
背照式深耗尽型光谱CCD相机, 200-1100nm 工作波段,峰值QE > 90%
⑨ 320mm 光谱仪:
F/4.2高光通量影像校正光谱仪, 1*10-5 杂散光抑制比
SPM300系列半导体参数测试仪主要应用
SPM300系列半导体参数测试仪选型表
型号 | 描述 |
SPM300-mini | 基础款半导体参数分析仪,只含一路532nm 激光器,常规正置显微镜,光谱仪,高精度XYZ 位移台 |
SPM300-SMS532 | 多功能型半导体参数分析仪,含532nm 激光器,常规正置显微镜,光谱仪,高精度XYZ 位移台, 可升级耦合最多4 路激光器 |
SPM300-OM532 | 开放式半导体参数测试仪,含532nm 激光器,定制开放式显微镜,光谱仪,高精度XYZ 位移台, 可升级耦合最多4 路激光器 |
系统参数
项目 | 详细技术规格 |
光源 | 标配532nm,100mW 激光器,其他激光可选,最多耦合4 路激光,可电动切换,功率可调节 |
光谱仪 | 320mm 焦距影像校正光谱仪,光谱范围90-9000cm-1, |
光谱分辨率 | 2cm-1 |
空间分辨率 | <1μm |
样品扫描范围 | 标配75mm*50mm,最大300mm*300mm |
显微镜 | 正置显微镜,明场或者暗场观察,带10X,50X,100X 三颗物镜;开放式显微镜可选 |
载流子浓度分析 | 测试范围测试范围1017 ~ 1020 cm-3,重复性误差<5% |
应力测试 | 可直观给出应力属性(拉力/ 张力),针对特种样品,可直接计算应力大小,应力均匀性分析 (需额外配置电动位移台), 应力解析精度0.002cm-1 |
晶化率测试 | 可自动分峰,自动拟合,自动计算出晶化率,并且自动计算晶粒大小和应力大小 |
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