大范围压电扫描台Carrier.L7550.XY

大范围压电扫描台Carrier.L7550.XY

参考价:面议
型号: Carrier.L7550.XY
产地: 北京
品牌: 卓立汉光
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核心参数
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产品详情

室温 ·压电运动⽅案 —“Carrier. 系列“ 大行程载物台 — 精密光学,半导体表征

产品特⾊

• XY ⽅向⼤⾏程 75 mm × 50 mm

• 最⼩步伐尺⼨约20 nm

• 最⾼速度 20 mm/s

• 闭环传感,空间分辨率 100 nm / 10 nm

• 全⾏程运动中,保证通孔 85 mm × 65 mm

• ⽀持⽆磁 ( .NM ) & 超⾼真空 ( .UHV )

• 主体铝合⾦(硬质氧化发⿊)

2D ·尺⼨图

Carrier.L7550.XY ⼤范围压电扫描台 — 技术参数
 

可选版本 ⇨

正常版本

.NM

.HV

.UHV

.NM     绝对⽆磁版本;

.HV,     ⾼真空版本 ;

.UHV ,超⾼真空版本;

1        运动⽅向

X   Y

2        外形尺⼨

250 mm × 200 mm × 30 mm

3        必须安装空间

325 mm × 250 mm

4        有效穿孔

85 mm × 65 mm

5        主体材料

铝合⾦

6        线缆 & 接头

标准屏蔽线缆

DSub9 接头

kapton漆包线,

PEEK-2mm插针

7        ⼯作温度

10 – 40 °C

运动参数-空间推荐安装形式 I.  (下列性质均在推荐安装形式下测得)

8        运动⾏程

75 mm × 50 mm

9        最⼤速度

~ 20 mm/s

10       最⼩步伐

~ 30 nm

11       驱动频率

Max. 20 kHz   (超安静运动)

12       最⼤负载

2 kg

13       全⾏程俯仰/偏摆

0.8 mrad

传感精度

14       位置传感类型

- 电阻型传感( .R )

- 光栅尺传感( .O )

75 mm × 50 mm

15       位置传感量程

- 电阻型传感( .R ),   100-200 nm

- 光栅尺传感( .O ),   10 nm,   1nm可选(默认 10nm)



北京卓立汉光仪器有限公司为您提供卓立汉光大范围压电扫描台Carrier.L7550.XY,卓立汉光Carrier.L7550.XY产地为北京,属于国产位移台,除了大范围压电扫描台Carrier.L7550.XY的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多位移台,卓立汉光客服电话400-628-5299,售前、售后均可联系。

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