技术说明

技 术 说 明 文 件 一．高纯气体手套箱设备参数: （可以净化的气体有氩气、氮气、氦气等惰性气体） 1. 氩气净化流量2m&sup3;/h。 2. 工作压力:0.1～0.6MPa。 3. 功率：6KW 。 4. 设备外形尺寸(长×宽×高)：1800×700×1800。 5. 净化效能： 气体 纯度(%) N2(ppm) O2(ppm) CO(ppm) CO2(ppm) CH4(ppm) 露点(H2O) 原氩 99.99 <100 <15 <5 <5 <5 －56℃ 精氩 99.9999（以上） ＜0.2 ＜0.2 ＜0.5 ＜0.5 ＜0.5 －70℃ 二、设 备 说 明 1. 本装置的阀门采用国内外专业阀门公司的优质产品，保证了产品的高纯度无渗透及安全可靠性。 2. 设备中全部容器、管道、阀门均为不锈钢材质。 3. 设备中全部选用我公司跟踪国际先进水平而研制的净化材料，具有净化纯度好、安全可靠的特点。 4. 设备中的主要控制仪表全部采用国内外先进产品。 5. 接头采用先进的高纯接头,保证了无渗透。 6. 外观设计采用国际流行颜色及形式,使产品更美观。 7. 设备加装微氧分析仪和微量水分析仪，使净化后气体得到了在线监测。避免了因设备问题的损失。 8. 本设备包括：循环系统、净化系统、操作系统、控制系统和分析系统。 9. 本设备在金属保护行业、电子、半导体材料制做、特种灯制造、稀有金属加工、电光源、科研、气体、分析、医学等领域，得到了广泛的应用。 2003年11月11日

文献贡献者

北京顺天奇科技发展有限公司

铜牌会员 | 第3年

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