劳达Lauda Semistat 半导体专用工艺过程恒温器

Lauda Semistat 半导体专用工艺过程恒温器

参考价：面议

型号：

Lauda Semistat

产地：

德国

品牌：

劳达

评分：

产品详情

Lauda Semistat 半导体专用工艺过程恒温器

LAUDA Semistat热电过程恒温器适用于 -20 至 90 °C 的半导体行业为苛刻的工艺过程快速和精确的温度控制热电温度控制系统LAUDA Semistat为等离子刻蚀工艺提供稳定的可重复性的温度控制。系统动态地控制静电卡盘(ESC)的温度并可以用在任何的刻蚀工艺中。LAUDA Semistat 热电温度控制系统设计的基础是基于帕尔帖原理的温度转换，这些原件可以实现快速且*的温度控制，满足了当今元器件生产尺寸越来越小的要求。与基于压缩机的系统相比，热点在线使用 Semistat 温度控制系统，降低能耗多达 90 %。可安装在使用地点的地下，非常节省空间，这样*限度地减少无尘室的使用。快速和*地将过程温度曲线控制在 ±0.1 K，从而提高晶圆间均质性。产品型号：S 1200/ S 2400/ S 4400

产品特点：

低能耗，没有压缩机和制冷剂的系统

占地空间小，如果放置在地板下方则不占用Sub-Fab

极低的导热液体填充量

德祥科技有限公司为您提供劳达Lauda Semistat 半导体专用工艺过程恒温器，劳达Lauda Semistat产地为德国，属于恒温器，除了Lauda Semistat 半导体专用工艺过程恒温器的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供德国Lauda Proline恒温循环水浴槽、德国Lauda PRO P10加热恒温浴槽、德国LAUDA Proline增强型加热/制冷水浴槽,德祥客服电话400-827-8618，售前、售后均可联系。

问商家

劳达恒温器Lauda Semistat的工作原理介绍恒温器Lauda Semistat的使用方法?劳达Lauda Semistat多少钱一台?恒温器Lauda Semistat可以检测什么？恒温器Lauda Semistat使用的注意事项？劳达Lauda Semistat的说明书有吗？劳达恒温器Lauda Semistat的操作规程有吗？劳达恒温器Lauda Semistat报价含票含运吗？劳达Lauda Semistat有现货吗？