超薄Au镀膜的测量

2012-05-30 00:03  下载量:3

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用SFT系列(微小部分荧光X射线膜厚仪)对0.05μm以下的超薄Au镀层实行测定的时候,受检 测器的分辨率的制约,测定会有些困难。 SEA5100系列采用了高分辨率的半导体检测器,S/N得到大幅改善,能够对几十埃的极薄的Au薄膜进 行测定。

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