方案摘要
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近年来随着科技的进步,产品的小型化・镀层厚 度的超薄膜化也进步了,特别是镀金层厚度也达到 了纳米等级。由于膜厚变薄了,荧光X射线的测量 灵敏度不足,测量就变得困难了。因此,对于以往 仪器测量困难的纳米等级的膜厚管理,在这里介绍 使用配备有高计数率半导体检测器的SFT9500的 测量事例。
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