真空探针台

仪器简介：

韩国WOOSIN 公司是一家专业为半导体、材料等领域提供先进设备的设备制造商。该设备是被用来在150K-600K的温度范围，不同的气体真空环境下测量OLED、LCD、PDP等显示器，太阳能电池，LED灯具，晶圆，特殊芯片等材料的电学性能的测试仪器。

技术参数：

技术参数：
真空腔体
350mm(W)×350mm(D)×150mm(H) 漏电性能 ≤1pA
基本压力 样品尺寸
5×10-6torr 通过高真空选件 100mm X 100mm (150mm X 150mm 可选)
XY基底平台 加热&冷却样品台
基底尺寸100mm×100mm (150mm×150mm 可选) *欧姆尼探针-VHC150K～600K
基底行走长度 *欧姆尼探针-VC150K～室温
X-轴 : ±60mm 或者更好 *欧姆尼探针-VH室温～600K
Y-轴 : ±60mm 或者更好
XYZ精确定位器
XYZ定位器行走长度
± 5mm 的 X,Y,Z 轴
XYZ定位分辨率1μm

主要特点：

多样化的测试环境
-真空下
-大气压下
-变化的样品温度（150K-600K）
-独特的双重探针机制
-样品台的XY方向的粗运动
-通过微观位置器XYZ 方向的精确定位
-变量选择
-高真空选择
-额外的气体进入
-抗振动光学表
-光学显微镜

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