测定三氯氢硅中痕量磷专用仪器

2011-05-12 10:29  下载量:11

资料摘要

资料下载

半导体硅材料中磷含量的高低,直接影响器件的电性能。随着硅材料研究及生产的不断提高,对于原材料三氯氢硅中磷的测试灵敏度、速度、准确度提出更高要求。

资料下载

文献贡献者

相关资料 更多

相关产品

当前位置: 北京北分天普 资料 测定三氯氢硅中痕量磷专用仪器

关注

拨打电话

留言咨询