型号: | prepFAST Carbon |
产地: | 美国 |
品牌: | ESI |
评分: |
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ESI prepFAST CARBON
超纯化学品在线稀释系统(半导体有机应用)
prepFAST CARBON可检测和识别半导体行业使用的超纯化学品中的有机污染物,测量范围可达到ppt。如果这些有机污染物未被发现,会对半导体的生产和性能产生负面影响。
监测和控制有机污染物的重要性
工艺化学品中的有机污染会导致硅片变化引起的无数问题,包括:
润湿性/疏水性的变化;晶片的非故意掺杂;栅极氧化物降解;晶片拓扑结构的变化;表面雾度;pH值变化
有机污染物分析仪
无机和有机化学品中目标有机污染物的定量分析
非靶向化合物的定性和半定量
适用于所有半导体级溶剂和化学品
ppt范围检测
超高质量分辨率TOF-MS和QTOF-MS探测器选项
高通量全自动化系统
准确测定和化合物鉴定
自动挖掘
自动校准
自动小瓶和瓶子开盖
易用性
条形码扫描
无需色谱分离
易于使用的软件,内置动态库选项
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