EQP等离子体刻蚀中的应用

2005/01/25   下载量： 192 次

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EQP等离子体质量和能量分析仪在半导体行业中的芯片加工工艺研究中有着很重要的应用。尤其对等离子体刻蚀设备的研究开发有很大的帮助。

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