几种SIMS的原理

2005/01/25   下载量: 1013

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文章简单介绍了SIMS的工作原理及可应用范围。 EQS 是差式泵式二次离子质谱(SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe),可分析来自固体样品的二次阴、阳离子和中性粒子。采用最新技术的SIMS 探针,便于连结到现有的UHV表面科学研究反应室。

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