脉冲电子束产生的等离子体的时间分辨离子通量分析

2005/01/27   下载量: 354

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在相邻电极的脉冲电子束产生的氩和氧的等离子体中,测量时间分辨离子的流量和能量分布。氩离子和氧离子的能量和流量的时间变化,是跟等离子体的电子温度和离子密度相关的。氧等离子体的延迟时间要比氩的短。这可以通过分析各种离子的损失机理来推断。

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