利用XPS和二次离子质谱仪（SIMS）进行材料表面表征

2005/03/13   下载量： 1003 次

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应用领域 电子/电气
检测样本 其他
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文章介绍了利用XPS（X-ray Photoelectron Spectroscopy）和SIMS（Secondary Ion Mass Spectrometry）进行多层材料的结构和组成分析。实验方法有很多值得广大材料研究者借鉴之处。

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