高级朗缪尔探针（Langmuir Probe）在等离子体诊断中的应用

2005/03/19   下载量： 896 次

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ESPion高级Langmuir探针（Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation）可快速、可靠、精确地进行等离子体诊断，是最先进可靠的 Langmuir 探针。 应用： · 蚀刻/沉积/ 清洁等离子体 · 脉冲等离子体操作 · 离子密度 (Ni & Gi) · 电子温度(Te & EEDF) · 电子密度(Ne) · 等离子体电位 · Debye 长度,悬浮电位 http://www.hiden.com.cn/admin/productsm.asp?ArticleID=72&classID=9

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