北京英格海德：薄膜的磁控溅射沉积研究

2017/09/14   下载量： 4 次

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应用领域 材料
检测样本 薄膜材料
检测项目
参考标准 --

Hiden的EQP等离子体质量、能量分析仪在薄膜的磁控溅射沉积研究中可以提供残余气体分析、随磁控源开关产生的气体分析、离子能量分布、中性粒子分析等多种分析手段。

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北京英格海德分析技术有限公司
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