静态法的压力传感器

2009/09/01   下载量： 72 次

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静态容量法的吸附量测量精度与压力测量精度直接相关，因此，要采用高精度的压力测量方法。过去使用有毒的汞压力计或油压力计，目前一般使用高精度的电容器型压力传感器。压力计内被Inconel薄膜隔成两个室。这种压力计有绝对压力型和压力差型。

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北京精微高博仪器有限公司
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