产品介绍:
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反应舱:
材料:铝
有效尺寸:600 x 600 x 600mm
容积:216升
舱门:装有可视窗口
托盘:5个。尺寸:562 x 660 x 40mm
可选件:
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300 m3/小时 的机械增压泵
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频射发生器:2.45GHZ, 13.56MHZ
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多个气体输入管道。
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根据客户工艺要求制作的软件程序
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根据客户要求制作的托盘。
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辊轮式载料系统。
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N2 Purge.
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