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![](http://www.beijingec.com/repository/image/sfFplhNNRUW60Jny_waNkA.jpg)
简介
SR系列薄膜分析产品来自美国AST公司,其可以实现薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量,同样对于材料NK参数也可以实现测量,为人们针对薄膜进行分析提供了极大便利。
产品详情:
基本功能 | 1,测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数 2,实现薄膜均匀性检测 3,实现反射、投射以及颜色测量 |
产品特点 | 强大的数据运算处理功能及材料NK数据库; 简便、易行的可视化测试界面,可根据用户需求设置不同的参数; 快捷、准确、稳定的参数测试; 支持多功能配件集成以及定制; 支持不同水平的用户控制模式; 支持多功能模拟计算等等。 |
系统配置 | 型号:SR100R 探测器: 2048像素的CCD线阵列 光源:高稳定性、长寿命的卤素灯 光传送方式:光纤 台架平台:特殊处理铝合金,能够很容易的调节样品重量,200mmx200mm的大小 软件: TFProbe 2.2版本的软件 通讯接口:USB的通讯接口与计算机相连 测量类型:薄膜厚度,反射光谱,折射率 电脑硬件要求:P3以上、最低50 MB的空间 电源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A 保修:一年的整机及零备件保修 |
规格尺寸
波长范围:250nm到1100 nm 光斑尺寸:500μm至5mm 样品尺寸:200mmx200mm或直径为200mm 基板尺寸:最多可至50毫米厚 测量厚度范围*:2nm~50μm 测量时间:最快2毫秒 精确度*:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较) 重复性误差*:小于1 ? |
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可选配件项 | 用于传递和吸收测量的传动夹具(SR100RT) ) 最低可测量直径为5μm大小的微光斑(MSP100) 在多个位置下,多个通道用于同时测量 (SR100xX) 在超过200或300毫米晶片上所进行的统一测绘(SRM100-200/300) |
应用系统
主要应用于透光薄膜分析类领域:
1 玻璃镀膜领域(LowE、太阳能…)
2 半导体制造(PR,Oxide, Nitride…)
3 液晶显示(ITO,PR,Cell gap...)
4 医学,生物薄膜及材料领域等
5 油墨,矿物学,颜料,调色剂等
6 医药,中间设备
7 光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
8 半导体化合物
9 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
10 非晶体,纳米材料和结晶硅
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