光学薄膜测厚仪的原理以及与其它方法比较

2009-04-22 15:43  下载量：381

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SpectraThick series的特点是非接触, 非破坏方式测量，无需样品的前处理，软件支持Windows操作系统等。ST series是使用可视光测量wafer，glass等substrates上形成的氧化膜，氮化膜，Photo-resist等非金属薄膜厚度的仪器。

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微纳立方科技(北京)有限公司
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