资料摘要
资料下载SpectraThick series的特点是非接触, 非破坏方式测量,无需样品的前处理,软件支持Windows操作系统等。ST series是使用可视光测量wafer,glass等substrates上形成的氧化膜,氮化膜,Photo-resist等非金属薄膜厚度的仪器。
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