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Advance Riko-经济型RTP快速退火炉 RTP-6

参考价：¥50万 - 80万

型号：	RTP-6
产地：	日本
品牌：	ADVANCE RIKO
评分：

核心参数

仪器种类：普通真空快速退火炉
产地类别：进口
样品尺寸： 6
温度范围： RT~1000℃
最高升温速率： 80℃/s
降温速率： 0
退火温度准确性： ±0.5℃
退火温度均匀性： 10℃

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产品详情

RTP-6经济型快速退火炉

RTP-6升温速率可达80℃/s。

RTP-6采用抛物线形的黄金反射面，可均匀热处理6英寸的圆晶。该系统可进行快速的热处理，适合热处理工艺的研究与开发。可用于半导体工艺中硅化物的形成以及半导体化合物的过程退火。

应用：

1. 离子注入后的活化退火

2. 沉积氧化膜的退火

3. 欧姆电极合金化

4. PZT，SBT和其它铁电薄膜的结晶退火

5. 硅化物及自对准硅化物的生成

6. 发光元件，半导体激光基板的热处理

7. 超浅结的生成

8. 铁电电容器沉积

9. 栅氧化膜的生

rtp-6加热腔.gif

特点：

l 快速热处理

l 腔体采用水冷，可进行快速降温

l 真空置换气氛后，可采用流动气氛进行热处理

l 温度程序设置和外部信号输入可以通过脑轻松控制

l 加热过程的温度数据也可以显示在电脑上

l 石英保护板（可选）可以安装在腔室内以防止污染

l 配备了各种安全措施

l 九个独立的加热区可实现不同尺寸样品均匀的温度控制

组成：

1. 红外金面反射炉系统图.gif

2. 加热腔

3. 可编程温控器

4. 9个独立的加热区

5. 跨度变换单元

6. 气体管路系统

7. 热气排出系统

8. 炉体框架，开关板

9. 高温计（可选）

10. 水冷机（可选）

11. 真空泵（可选）

参数：

RTP-6型号参数.gif

凯戈纳斯仪器商贸（上海）有限公司为您提供ADVANCE RIKOAdvance Riko-经济型RTP快速退火炉 RTP-6，ADVANCE RIKORTP-6产地为日本，属于进口退火炉，除了Advance Riko-经济型RTP快速退火炉 RTP-6的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多退火炉,凯戈纳斯客服电话，售前、售后均可联系。

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