| 型号： | RFS-N系列 |
| 产地： | 日本 |
| 品牌： | |
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日本ULVAC公司目前生产的射频RF电源RFS-N系列,
包括RFS-1305N输出500W,RFS-1310N输出1KW两种.
频率为13.56MHz.配备高效RF放大器,小型化轻量化.
内藏有自动匹配控制,通过分体式操作面板,
既可控制功率输出及匹配.自动计算异常反射CUT时间,快速遮断电弧重启.
特长:
1. 采用频率13.56MHz高效放大器.通过高效功率变换电路节省能源.
2. 通过高速匹配步进电机控制变速.
3. RF电源内藏自动匹配控制,通过一个标配控制器既可操作控制电源及匹配器.
4. 高速自动匹配,速度快.可匹配覆盖范围广.
5. 平稳实现外部模拟控制,串行通信控制.电源本体与触摸屏呈分体式
6. 两台同时工作时,可三百六十度调整相位.
7. 强制空冷.
参数:
射频电源本体
型号 RFS-1305N RFS-1310N
输入 AC180V~240V单相 AC180V~240V单相
输入容量 1.2kVA以下 2.0kVA以下
振动频率 13.56MHz±0.05% 13.56MHz±0.05%
最大进行波输出 500W 1000W
最大反射波电力 100W 100W
线性 额定输出±2%以下 额定输出±2%以下
外形尺寸 240Wx500Dx150H 240Wx500Dx150H
质量 12kg以下 12kg以下
匹配器
型号 MBX-1305N MBX-1301N
电大允许电力 500W 1000W
输出阻抗 R:0.5Ω≦R≦10.0Ω R:0.5Ω≦R≦10.0Ω
冷却方式 强制空冷 强制空冷
外形尺寸 375Wx250Dx170D 375Wx250Dx170D
质量 10kg 10kg
耐电流 40A 40A
耐电压 2.5kV(0-peak) 2.5kV(0-peak)
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