| 型号： | HPS系列 |
| 产地： | 日本 |
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日本ULVAC公司经多年的技术经验的积累,研制开发HPS-N系列电子束蒸发电源.和电子枪控制器单元,
整体电路运行稳定而安全.抗干扰能力强.可同时对应光学膜及金属膜.
B EB Power Generator(电子枪电源)
1 不需用冷却水冷却.
采用强制空冷方式,不需要冷却水.
2 高可靠性
通过安装的整机设备后实际使用效果反馈总结.
3 高速异常放电遮断重启功能.
采用半导体控制开关.针对异常放电,具有快速遮断,重启,.
起到保护电源的功能.可并保证蒸发工艺维持稳定而高速.
用途:
金属膜,LED电极,配线膜等真空蒸镀.
光学膜TiO2,ZrO2,Ta2O5,防反射膜,绝缘膜,功能膜SiOx,阻隔膜SiN,栅介质AL2O3,
透明导电ITO,ZnO膜的真空蒸镀..
参数:
型号 HPS-600N HPS-1000N
相数,频率 三相 50/60Hz 〃
输 输入电压 AC200～220V 〃
入 变动范围 AC190～231V 〃
规 输入 一源 9.0kVA以下 14.0kVA以下
格 容量 两源 10.0kVA以下 15.0kVA以下
漏溢电流 各相5mA以内 〃
额定输 一源 6kW 10kW
出电力 两源 6kW(两源合计) 10kW(两源合计)
输 高压 可调范围 -2kV～-6kV -4kV～-10kV
出 输出 稳定率 ±1%以内 〃
规 电压 脉动率 ±2%p-p以内(在各个额定输出)
格 Beam 可调范围 0～1000mA 0～1000mA
电流 变动率 ±2%以内(在各个额定输出)
灯丝用 电压 0～6V/12VAC 〃
输出 电流 0A～45Amax 〃
高压 动作方式 半导体元件开关方式
闪断 高压闪断时间 1ms以内(机械性断路约1秒断高压)
保护 休止时间 10ms以内 〃
高压启动时间 1ms以内(额定20%至80%)
冷却方式 强制风冷. 〃
外形尺寸 494mmW x 701mmD x 712mmH
上记尺寸不含按键,接口等突起部份
重量 115kg 120kg
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