皖仪科技离子色谱法测定光刻胶中的阴阳离子

2024-03-12 14:05 下载量：0

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国际半导体设备和材料产业协会对光刻胶、光刻工艺中使用的显影剂、清洗剂、刻蚀剂和去胶剂等制定了严格的无机金属离子和非金属离子的限量要求和检测方法。离子色谱是测定无机非金属离子杂质常用的方法。本文主要介绍了皖仪科技IC6600双系统离子色谱仪在半导体行业中应用。

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安徽皖仪科技股份有限公司

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