海洋光学椭偏仪SpecEL_价格-铂悦仪器（上海）有限公司

产品详情

椭偏仪SpecEL

SpecEL-2000-VIS椭偏仪通过测量基底反射的偏振光，进而测量薄膜厚度及材料不同波长处的折射率。SpecEL通过PC控制来实现折射率，吸光率及膜厚的测量。

集成的*测量系统
SpecEL-由一个集成的光源，一个光谱仪及两个成70°的偏光器构成，配有一个32位操作系统的PC。该椭偏仪可测量0.1nm-5um厚的单膜，并且折射率测量可达0.005

SpecE1 软件及Recipe 配置文件

通过SpecEL 软件，您可以配置及存贮实验设计方法用于1 步分析。创建recipe后，可以选择recipe 来执行实验。SpecEL 软件截图显示的Psi及Delta 值可以用来计算厚度，折射率及吸光率。

特点

-- 膜厚测量精度0.1 nm，分辨率可达1nm

-- 可以测量*多25 层膜

-- 单层膜可以测量*大厚度10um

-- 光谱范围 300-1000nm

-- 标准测量点尺寸0.4mmx1.2mm

-- 适合测量平面，半透明的样品，例如晶圆，玻璃，胶片和金属薄片

-- 提供3D 绘图附件，参考晶圆等选项—可以定制方案

-- 配套软件提供了建模功能和测量模型，可以减少繁琐的重复测量。还可以提供用于膜厚绘图的测量软件。

厚度范围：1nm-10μm

分辨率：0.1nm

测量速度：7-13秒

样品厚度：5mm（*大）

光学分辨率：1.0nm

射束直径：400-1200μm

角度：70°

铂悦仪器（上海）有限公司为您提供海洋光学椭偏仪SpecEL，海洋光学SpecEL产地为美国，属于进口椭偏仪，除了椭偏仪SpecEL的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多椭偏仪,铂悦仪器客服电话400-801-8356，售前、售后均可联系。

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企业名称: 铂悦仪器(上海)有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91310117698818989B
成立日期: 2009年12月29日
注册资本: 人民币500.0000万元整
经营范围: 仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、一般劳防用品、玻璃制品的销售;仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务;一类医疗器械、仪器仪表的维修;自有设备租赁(除金融租赁);广告设计、制作、利用自有媒体发布各类广告、电子商务(不得从事增值电信、金融业务);从事货物及技术的进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)

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型号：	SpecEL
产地：	美国
品牌：	海洋光学
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