膜厚测量仪 NanoCale

膜厚测量仪 NanoCale

参考价:面议
型号: NanoCale
产地: 美国
品牌: 海洋光学
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膜厚测量仪 NanoCale

 

NanoCalc薄膜反射测试仪能够实现10nm-250um范围内的膜层厚度测量。对于单层膜厚, 其精度可达0.1nm。通过软件选择, 1s 内可以实现单膜或多膜测量, 并能够实现半导体配向膜, 抗划膜, 硬膜, 增透膜的测量。NanoCalc 基于反射光干涉来测量膜厚, 不适用于非透明基底材料, 也适用于透明基底材料膜厚测量。

- Nanocalc 3.06:Windows膜厚测试软件, 用于测量、模拟及分析, 至多可达10 层膜。并且含材料数据库可以查到大多数常用材料的n、k值;用户也可以自己添加与编辑此材料库或者通过色散方程来定义材料。

-- 参考阶跃圆晶片:阶跃型参考圆晶片,4 英寸硅基底镀有6层二氧化硅膜,用于校准。

--STAGE-RTL:此支架易于实现各种膜厚测量及光谱实验搭建。并且样品表面与光纤探头距离恒定,校准容易及准确。而上面的光陷阱盒可以避免背景反射光及环境光,而这对于透明基底材料的测量是必要且重要的。

波长:400-85nm

厚度范围:50nm-20μm

光学分辨率:0.1nm

可重复性:0.3nm

入射角:90°或者70°

测试速度:100ms-1s

铂悦仪器(上海)有限公司为您提供海洋光学膜厚测量仪 NanoCale,海洋光学NanoCale产地为美国,属于其它测厚仪,除了膜厚测量仪 NanoCale的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供null,铂悦仪器客服电话400-801-8356,售前、售后均可联系。

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