型号: | 单晶X射线衍射仪 |
产地: | 德国 |
品牌: | Freiberg Instruments |
评分: |
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Omega/Theta X射线衍射仪应用于SiC衬底的堆垛和质量评估,晶体取向和摇摆曲线快速测量
Omega/Theta X射线衍射仪是一款全自动的垂直三轴衍射仪,可使用Omega扫描和Theta扫描确定晶体的取向。
生产和质量控制
++ 测量速度: 每个样品<?5 s, 比传统 Theta 扫描的方法快200倍.
++ 转移技术: 在一个切片梁上可多至12个晶体
++ 多功能: SiC (2H, 4H, 6H & 15R)和40多种其它材料的取向和多种类型测试
++ 高度准确性: 角精度为0.003°
++ 可靠性: 运行时间 >?99?。坚固耐用的工业级仪器,用于复杂的材料研究和质量控制。
++ 模块化设计: 各种配置可根据客户的需求进行定制
Omega-扫描方法
5s捕获晶体取向参数.
摇摆曲线测量
配置选择
??用于样品测量的激光扫描仪
??摄影照相机并进行平面和凹痕测定
?? 用于3D成像的样品旋转轴
?? 主通道切割单色仪
?? 用于方向映像的 X轴和Y轴运动
?? 方位设置和晶体取向标记
?? 使用Theta扫描法进行自动摇摆曲线测量
应用:氮化硅晶片、氮化硅外延片、蓝宝石晶片、SIC材料
应用
?? 在SiC, (Si, Ge)固溶体中测定晶格参数等 .
?? 涡轮叶片(单晶超级合金)的取向成像。
XRD操作软件
用户友好和*的操作:
?? 不同的操作模式
?? 操作员模式: 用户固定测量参数和*的工作流程
?? 管理员模式: 修改和创建新的方法并适应新的方法
??*的用户引导界面
?? 预定义和客户自定义方法
?? 自动显示测量结果和校正值以调整晶体方向
??成像选项
?? 导出和导入功能
技术指标
X射线源标准X射线管, 阳
检测器 闪烁技术器(单或者双 )
样品大小可达250 mm (10”)
样品架安装板的*旋转 (± 0.01°)
晶体准直器主要 Ge 通道切割准直仪
成像x-y 轴, 横向分辨率小于 0.1 mm
重现性< 1 弧分 (倾斜部件), < 0.1 (φ, ψ)
软件XRD操作软件
水冷流量 – 4l/min, *大压力 8 bar, T ≤ 30° C
PC 工作条件Windows7或者*新的NET Framework
电压要求208-240 V, 16 A 单相, 50-60 Hz
尺寸H 2035 mm x D 1186 mm x W 824 mm
重量约650 kg
认证根据ISO 9001 指南制造,符合CE
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