一种利用氮等离子体发射光谱检测电子密度的新方法

2008-08-22 14:44  下载量:91

资料摘要

资料下载

本文利用氮的等离子体的发射光谱对体积平均电子密度进行检测。其中利用了BTC112E检测其280nm-380nm的发射光谱,得到了比较好的结果

资料下载

文献贡献者

相关资料 更多

相关产品

当前位置: 必达泰克 资料 一种利用氮等离子体发射光谱检测电子密度的新方法

关注

拨打电话

留言咨询