硅薄膜晶化率的拉曼检测分析

2010/02/01   下载量: 172

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利用必达泰克公司的i-Raman激光拉曼光谱仪来检测硅结晶过程中从非定型硅到多晶硅的晶化率,并获得了满意的效果

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