台式原子层沉积系统
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台式原子层沉积系统

参考价：¥100万 - 200万
型号： GEMStar
产地： 美国
品牌： ARRADIANCE
评分：
应用领域：
共3个 查看经典案例
核心参数
创新点
在小巧的机身（78 x56 x28 cm）中集成了原子层沉积所需的所有功能，可最多容纳9片8英寸基片同时沉积。GEMStar全系配备热壁，结合前驱体瓶加热，管路加热，横向喷头等设计， 使温度均匀性高达99.9%，气流对温度影响减少到0.03%以下。高温度稳定度的设计不仅实现在 8英寸基体上膜厚的不均匀性小于1%，而且更适合对超高身宽比孔径结构登3D结构实现均匀薄膜覆盖，可实现对高达1500：1深宽比微纳孔径内部的均匀沉积。
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台式三维原子层沉积系统ALD


原子层沉积（Atomic layer deposition, ALD）是通过将气相前驱体脉冲交替的通入反应器，化学吸附在沉积衬底上并反应形成沉积膜的一种方法，是一种可以将物质以单原子膜形式逐层的镀在衬底表面的方法。因此，它是一种真正的纳米技术，以控制方式实现纳米的超薄薄膜沉积。由于ALD利用的是饱和化学吸附的特性，因此可以确保对大面积、多空、管状、粉末或其他复杂形状基体的高保形的均匀沉积。 

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美国ARRADIANCE公司的GEMStar XT系列台式 ALD系统，在小巧的机身（78 x56 x28 cm）中集成了原子层沉积所需的所有功能，可多容纳9片8英寸基片同时沉积。GEMStar XT全系配备热壁，结合前驱体瓶加热，管路加热，横向喷头等设计， 使温度均匀性高达99.9%，气流对温度影响减少到0.03%以下。高温度稳定度的设计不仅实现在 8英寸基体上膜厚的不均匀性小于1%，而且更适合对超高长径比的孔径结构等3D结构实现均匀薄膜覆盖，可实现对高达1500：1长径比微纳深孔内部的均匀沉积。

GEMStar XT 产品特点：

■  300℃ 铝合金热壁，对流式温度控制

■  175℃ 温控150ml前驱体瓶，200℃ 控输运支管

■  可容纳多片4，6，8英寸样品同时沉积

■  可容纳1.25英寸/32mm厚度的基体

■  标准CF-40接口

■  可安装原位测量或粉末沉积模块等选件

■  等离子体辅助ALD插件

■  多种配件可供选择

GEMStar XT 产品型号：

GEMStar -4 XT：

■  大4英寸/100 mm基片沉积

■  单路前驱体输运支管， 4路前驱体瓶接口

■  不可升为等离子体增强ALD

GEMStar -6/8 XT：

■  大6英寸(150mm)/8英寸(200mm)基片沉积

■  双路前驱体输运支管， 8路前驱体瓶和CF-40接口

■  可升为等离子体增强ALD

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GEMStar -8 XT-P：

■  大8英寸/200mm基片沉积

■  双路前驱体输运支管， 8路前驱体瓶和CF-40接口

■  装备高性能ICP等离子发生器

13.56 MHz 的等离子源非常紧凑，只需风冷，高运行功率达300W。

■  标配３组气流质量控制计（MFC）控制的等离子气源线，和一条MFC控制的运载气体线，使难以沉积的氧化物、氮化物、金属也可以实现均匀沉积。

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GEMStar NanoCUBE：


*  大100 mm 立方体样品 沉积

*  单路前驱体输运支管， 2路前驱体瓶接口

*  主要用于3D多孔材料，以及厚样品的沉积


丰富配件：


多样品托盘：

* 多样品夹具，样品尺寸（8", 6", 4"）向下兼容。

* 多基片夹具，多同时容纳9片基片。


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温控热托盘：

* 可加热样品托盘，高温度500℃，可实现热盘-热壁复合加热方式。

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粉末沉积盘：

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臭氧发生器：

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 真空进样器（Load Lock）

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 晶振测厚仪

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 前驱体瓶：

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 前驱体加热套： 

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粉末旋转沉积罐模块：

配合热壁加热方式，进一步实现对微纳粉末样品全保型薄膜均匀沉积包覆。

 

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手套箱接口：

可从侧面或背面接入手套箱，与从底部接入手套箱不同，不占用手套箱空间。由于主机在手套箱侧面，反应过程中不对手套箱有加热效应，不影响手套箱内温度。 


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应用案例

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应用领域

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国内外用户

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已发表文献

1、  Loïc Assaud et al. Systematic increase of electrocatalytic turnover over nanoporous Pt surfaces Prepared by atomic layer deposition. J. Mater. Chem. A (2015) DOI: 10.1039/c5ta00205b

2、  Xiangyi Luo et al. Pd nanoparticles on ZnO-passivated porous carbon by atomic layer deposition: an effective electrochemical catalyst for Li-O2 battery. Nanotechnology(2015) 26, 164003. DOI:10.1088/0957-4484/26/16/164003

3、 HengweiWang, et al. Precisely-controlled synthesis of Au@Pd core–shell bimetallic catalyst via atomic layer deposition for selective oxidation of benzyl alcohol. Journal of Catalysis (2015) 324, 59–68. DOI: 10.1016/j.jcat.2015.01.019

4、  Sean W. Smith, et al. Improved oxidation resistance of organic/inorganic composite atomic layer deposition coated cellulose nanocrystal aerogels. J. Vac. Sci. Technol. A (2014) 4, 32 DOI: 10.1116/1.4882239

5、 Fatemeh Sadat MinayeHashemi et al. A New Resist for Area Selective Atomic and Molecular Layer Deposition on Metal−Dielectric Patterns. J. Phys. Chem. C (2014), 118, 10957−10962. DOI: 10.1021/jp502669f

6、  Jeffrey B. Chou, et.al Enabling Ideal Selective Solar Absorption with 2D Metallic Dielectric Photonic Crystals. Adv. Mater. (2014), DOI: 10.1002/adma.201403302.

7、  Jin Xie, et al. Site-Selective Deposition of Twinned Platinum Nanoparticles on TiSi2 Nanonets by Atomic Layer Deposition and Their Oxygen Reduction Activities. ACS Nano (2013), 7, 6337–6345. DOI: 10.1021/nn402385f

8、 Pengcheng  Dai, et al. Solar Hydrogen Generation by Silicon Nanowires Modified  with Platinum Nanoparticle Catalysts by Atomic Layer Deposition. Angew. Chem. Int. Ed. (2013), 52, 1 –6. DOI: 10.1002/anie.201303813

9、 Joseph Larkin et al. Slow DNA Transport through Nanoporesin Hafnium Oxide Membranes. ACS Nano (2013), 11, 10121–10128. DOI: 10.1021/nn404326f

10、  Thomas M et al. Extended lifetime MCP-PMTs: Characterization and lifetime measurements of ALD coated microchannel plates, in a sealed photomultiplier tube Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A (2013) 732, 388–391. DOI: 10.1016/j.nima.2013.07.023

11、  Kevin J. Maloney et al. Microlattices as architected thin films: Analysis of mechanical properties and high strain elastic recovery. APL Mater. 1, 022106 (2013) DOI: 10.1063/1.4818168

12、   Sean W. Smith et al. Improved Temperature Stability of Atomic Layer Deposition Coated Cellulose Nanocrystal Aerogels. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. (2012) DOI: 10.1557/opl.2012.

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