型号: | UHV PLD system |
产地: | 加拿大 |
品牌: | Johnsen |
评分: |
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加拿大Johnsen Ultravac Inc.(JUV)公司成立于1961,以其优异的性能与表现在全球范围内赢得了良好的声誉,被誉为超高真空领域设备制造商中的“奥德赛”!多年来,JUV一直保持着高标准,成功地将用户的要求转化为高的科研设备,同时也为科研、商业及工业等领域输出了大量的精密超高真空仪器。
该系统包括一个外径为10’’的圆柱形真空腔体,配有:分子泵、真空阀门、两个样品操作台、带开闭器的高纯蓝宝石观察窗、靶架(Target Holder)和衬底架。用户可以任意选择六个靶中的其中一个,将其沉积到直径为2-3’’的圆形衬底上。在激光沉积过程中,衬底可以进行加热。衬底通过快速进样室引入到主真空腔中。系统的真空度好于2×10-10Torr。
从概念的提出,到设计、加工和安装,Johnsen Ultravac公司的专业技术人员能根据用户的具体要求,设计制造出满足任何应用的系统。多年来积累的经验使Johnsen Ultravac为用户制造出配置复杂的腔体、快速进样室、样品传送装置、旋转台、升起/摆动机械装置、自动电子控制的水/气分配系统等。
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