室温纳米精度位移台-技术介绍

2020-02-28 17:20  下载量:0

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attoECS系列位移台在提供高精度位移控制的同时,保证了优异而高的稳定性能,适用于室温、大气到超高真空环境中,负载可达几公斤,行程达到50mm,小步长50nm,配备的光学位移传感器可将位移精度控制到10nm,提供多维度位移功能。

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