方案摘要
方案下载应用领域 | 电子/电气 |
检测样本 | 电子元器件产品 |
检测项目 | |
参考标准 | NA |
- 原位SEM与AFM、纳米压痕仪三者联用 - 无需将样品在AFM系统与SEM系统之间反复转移即可对多次纳米压痕测试进行观察、测量,操作方便高效 - 定量分析表面的缺陷及压痕
SEM观察与AFSEMTM测量相结合,原位纳米压痕分析
- 原位SEM与AFM、纳米压痕仪三者联用
- 无需将样品在AFM系统与SEM系统之间反复转移即可对多次纳米压痕测试进行观察、测量,操作方便高效
- 定量分析表面的缺陷及压痕
图1 安装在SEM腔体中的纳米压痕仪和AFSEMTM
图2 经过纳米压痕仪刻划之后,利用AFSEMTM在SEM腔体中原位对压痕进行成像和定量测量
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