利用AFSEM进行纳米压痕分析

2020/02/25   下载量： 0 次

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应用领域 电子/电气
检测样本 电子元器件产品
检测项目
参考标准 NA

- 原位SEM与AFM、纳米压痕仪三者联用 - 无需将样品在AFM系统与SEM系统之间反复转移即可对多次纳米压痕测试进行观察、测量，操作方便高效 - 定量分析表面的缺陷及压痕

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配置单
方案详情

 

SEM观察与AFSEMTM测量相结合，原位纳米压痕分析

-  原位SEM与AFM、纳米压痕仪三者联用

-  无需将样品在AFM系统与SEM系统之间反复转移即可对多次纳米压痕测试进行观察、测量，操作方便高效

-  定量分析表面的缺陷及压痕

应用1-1.jpg

图1 安装在SEM腔体中的纳米压痕仪和AFSEMTM

应用1-2.jpg

图2 经过纳米压痕仪刻划之后，利用AFSEMTM在SEM腔体中原位对压痕进行成像和定量测量

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文献贡献者

QUANTUM量子科学仪器贸易（北京）有限公司
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