方案摘要
方案下载应用领域 | 其他 |
检测样本 | 其他 |
检测项目 | |
参考标准 | NA |
在硬X射线成像中,每个探针平均扫描时间的减少对于因为束流造成的损伤是至关重要的。此外,系统的振动或漂移会严重影响系统的实时分辨率。而在结晶学等光学实验中,扫描时间主要取决于装置的稳定性。Attocube公司的皮米精度干涉仪FPS3010(升之后的型号为IDS3010),被用于优化由多层波带片(MZP)和基于MZP的压电样品扫描仪组成的实验装置的稳定性的测量。实验是在德国DESY Photon Science中心佩特拉III期同步加速器的P10光束线站上进行的。Attocube公司的激光干涉仪PFS3010用来检测样品校准电机引起的振动和冲击产生的串扰。基于这些测量,装置的成像分辨率被提高到了±10nm。
在硬X射线成像中,每个探针平均扫描时间的减少对于因为束流造成的损伤是至关重要的。此外,系统的振动或漂移会严重影响系统的实时分辨率。而在结晶学等光学实验中,扫描时间主要取决于装置的稳定性。Attocube公司的皮米精度干涉仪FPS3010(升级之后的型号为IDS3010),被用于优化由多层波带片(MZP)和基于MZP的压电样品扫描仪组成的实验装置的稳定性的测量。实验是在德国DESY Photon Science中心佩特拉III期同步加速器的P10光束线站上进行的。Attocube公司的激光干涉仪PFS3010用来检测样品校准电机引起的振动和冲击产生的串扰。基于这些测量,装置的成像分辨率被提高到了±10nm。
图一 实验得到的系统分辨率结果
利用AFM+SEM二合一显微镜-FusionScope揭秘半导体陶瓷材料微观机理
利用AFM+SEM二合一显微镜-FusionScope表征纳米线阵列
利用FusionScope进行纳米力学测试,测试动态全程可见
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