材料电导率对硅晶片zeta电位的影响

2013/09/08   下载量： 8 次

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应用领域 半导体
检测样本 其他
检测项目
参考标准 科学研究，暂无标准

近几年zeta电位的研究在理解和调整表面性能方面已经占据增进的重要地位。Zeta电位能灵敏指示表面电荷。表面电导率影响着zeta电位的数值测定。在日常应用如半导体领域里金属膜以及腐蚀现象及涂层整体质量控制等方面上，表面电导的分析有着重大意义。

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文献贡献者

安东帕(上海)商贸有限公司
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