微波等离子体(CVD)系统应用

2013-05-17 11:34  下载量:5

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系统采用HMG-2050,5Kw/2450MHz高稳定程控微波功率源。运用完善的线路安全闭锁控制系统,使该系统工作寿命长,电气性能优良,安全可靠,操作简单方便。 微波传输系统由高性能微波环行器,销钉调配器,带反射波取样的水负载以及外部连接波导组成。它确保反射波对磁控管的良好隔离,并能方便地调节最佳匹配,达到微波功率的最佳传输。

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