PlasCalc等离子体监测控制仪,实现200nm-1100nm波段内的等离子体测量,通过高级过程控制系统及精密数据存取算法,只需3m就可以获得测量结果。
特点
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光学分辨率1.0nm(FWHM)
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光谱范围 200-1100nm
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快速的建模及存储实验方法
Recipe编辑器
Recipe编辑器有助于简单快捷的配置、构建及存储实验方法。对一些困难的等离子体工序诸如膜沉积测量、等离子体蚀刻监测、表面洁度监测、等离子体室控制及异常污染、排放监测等,能够快速简单的构建模块过程控制。
多种工具用于等离子体诊断
随PlasCalc配置的操作软件,集成的程式编辑器能够容易实现多种数学算法功能。可选的波长发生器(可以单独购买)用于类型确认,而波长编辑器可以用于优化信噪比。双窗口界面用于显示实际光谱及所有过程控制信息。
PlasCalc 配置说明
光谱范围: |
200-1100 nm |
光学分辨率: |
1.0 nm (FWHM) |
D/A 转换: |
14 bit |
数字I/O: |
8 x TTL |
模拟输出: |
4 x [0-10V] |
接口: |
USB 1.1 |
功耗: |
12 VDC @ 1.25 A |
电源: |
90-240 VAC 50/60 Hz |
尺寸: |
257 mm x 152 mm x 263 mm |
重量: |
5 kg |
上海诚铭科技有限公司为您提供海洋光学等离子体监测控制仪PlasCalc,海洋光学PlasCalc产地为美国,属于光纤光谱仪,除了等离子体监测控制仪PlasCalc的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多光纤光谱仪,上海诚铭客服电话,售前、售后均可联系。