等离子体监测控制仪PlasCalc

PlasCalc等离子体监测控制仪，实现200nm-1100nm波段内的等离子体测量，通过高级过程控制系统及精密数据存取算法，只需3m就可以获得测量结果。
 
特点

• 光学分辨率1.0nm(FWHM)
• 光谱范围 200-1100nm
• 快速的建模及存储实验方法

Recipe编辑器
Recipe编辑器有助于简单快捷的配置、构建及存储实验方法。对一些困难的等离子体工序诸如膜沉积测量、等离子体蚀刻监测、表面洁度监测、等离子体室控制及异常污染、排放监测等，能够快速简单的构建模块过程控制。
 
多种工具用于等离子体诊断
随PlasCalc配置的操作软件，集成的程式编辑器能够容易实现多种数学算法功能。可选的波长发生器（可以单独购买）用于类型确认，而波长编辑器可以用于优化信噪比。双窗口界面用于显示实际光谱及所有过程控制信息。
 
PlasCalc 配置说明

光谱范围:	200-1100 nm
光学分辨率:	1.0 nm (FWHM)
D/A 转换:	14 bit
数字I/O:	8 x TTL
模拟输出:	4 x [0-10V]
接口:	USB 1.1
功耗:	12 VDC @ 1.25 A
电源:	90-240 VAC 50/60 Hz
尺寸:	257 mm x 152 mm x 263 mm
重量:	5 kg