| 供货周期： | 现货 |
| 品牌： | 中镜科仪 |
| 货号： | BZN100 | BZP100 | BZN111 | BZP111 |
单晶硅片参数 | |
生长方法 | 直拉CZ |
直径与公差 (mm) | 50、75、100 ± 0.2 |
型号/掺杂剂 | P型/硼 N型/磷、砷、锑 |
晶向 | <100> / <111> |
电阻率 (Ω.cm) | 1-50 |
径向电阻率变化 (%) | P< 6 N型< 25 |
氧含量与公差 | 5.0-7.8 × ± 0.5 |
径向氧含量变化 (%) | < 5 |
碳含量 (at) | ≤ 2.0× |
金属铁含量 (at) | ≤1.0× |
表面金属 (at) | 铜 / 铬 / 铁 / 镍≤ 5.0× 铝 / 锌 / 钾 / 钠 / 钙≤ 2.0× |
厚度 (微米) | 300-500 |
厚度公差 (微米) | ±20 |
总厚度变化 TTV (微米) | < 2.5 |
平整度 TIR (微米) | < 1.2 |
局部平整度 STIRmax (微米) | < 0.3 |
翘曲度 (微米) | < 30 |
颗粒 (# per wafer) | < 30 (for size > 0.2微米) |
以上参数仅供参考，由于硅片每批到货参数都不相同，并且会有新老库存交替情况，发货前可向客服确认，现有库存硅片的具体参数。
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