SKY–Novellus C1化学气象沉积设备-6

SKY–Novellus C1化学气象沉积设备-6

参考价：面议
型号： SKY–Novellus C1化学气象沉积设备
产地： 美国
品牌：
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新耕（上海）贸易有限公司
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仪器简介：

应用：
◆ 二氧化硅、氮化硅、氮氧硅全自动沉积工艺。



技术参数：

SKY公司的C1 PECVD设备是买断Novellus C1型号的技术授权在国内生产的PECVD设备，所有性能指标均和美国原产地Novellus C1相同，配件国产率超过70%。 SKY公司依托Novellus公司的技术授权，拥有本地及回国人员组成的强大技术团队，目前产品主要应用于4~6”主流硅半导体、化合物半导体及MEMS领域。



主要特点：

◆ 高度稳定的均匀性；
◆ 高度稳定的折射率；
◆ Novellus技术授权；
◆ 零部件国产化及稳定的零部件供应；
◆ 菜单式二氧化硅、氮化硅、氮氧硅全自动沉积工艺；
◆ 真空室（沉积室）等离子体自动刻蚀清洗；
◆ 双频RF/LF电源发生器；
◆ 阻抗匹配器自动调节；
◆ 单腔（七片）、连续（七十五片）自动转换沉积。

新耕（上海）贸易有限公司为您提供SKY–Novellus C1化学气象沉积设备-6，nullSKY–Novellus C1化学气象沉积设备产地为美国，属于其他，除了SKY–Novellus C1化学气象沉积设备-6的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多其他,新耕贸易客服电话400-860-5168转1185，售前、售后均可联系。

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