型号: | INM100 |
产地: | 美国 |
品牌: | |
评分: |
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應用:
◆多种成像方式(亮场、暗场、DIC及365nm UV成像等)可用于不同材料特性的分析;
◆最大样片尺寸可达8英寸,分辨率达0.13um;
◆先进的检测方式可用于硅片、光罩和其他材料的失效分析及工艺控制。
半自动化的光学检测设备,被广泛应用于检测硅片、光罩、MEMS以及相关产品。采用了高质量的Leica 镜头,配激光自动聚焦系统。
◆具紫外光成像功能,成像清晰,分辨率高;
◆模组自动化程度高;
◆软件操作简单易学;
◆机型小巧,产能高。
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