USHIO投影式全自动光刻设备

USHIO投影式全自动光刻设备

参考价：面议
型号： UX-4系列
产地： 日本
品牌： Ushio
评分：
新耕（上海）贸易有限公司
金牌会员 丨 18年
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产品详情
UX-4系列全自动投影式光刻设备主要运用于大尺寸的LED芯片生产和研发。同时又可以运用于半导体MEMS芯片的新品开发和大批量生产。
 
特点：
*最大限度的提高生产良率。（焦点深度可达±50um）
*光刻板和Wafer非接触，光罩板可以反复利用无需对光罩板进行清洗和更换。
*最大可对应到8英寸芯片的生产，1:1一次性曝光。
*设备利用率可达97%以上
*真正意义上的全自动，光罩板无需人工装载。
*产品生产切换简易。
*焦点深度可达±50um（可有效对芯片应翘曲严重和厚胶工艺）
 
应用：
*LED及半导体MEMS芯片的研发和生产。
新耕（上海）贸易有限公司为您提供UshioUSHIO投影式全自动光刻设备UX-4系列，UshioUX-4系列产地为日本，属于电子束曝光机，除了USHIO投影式全自动光刻设备的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多电子束曝光机,新耕贸易客服电话400-860-5168转1185，售前、售后均可联系。

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