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MDX 系列500 W |
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MDX 500 在真空環境中經久耐用,能夠在磁控環境中對不同類型的電弧進行多級抑制和滅弧。在基本磁控濺射、射頻偏壓直流濺射以及直流偏壓射頻濺射中表現一流。其小巧的尺寸使其非常適合於實驗室系統和小規模的生產環境。 |
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MDX 系列1 kW 和1.5 kW |
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精密的調節功能、優良的滅弧和較低的存儲輸出能量使 MDX 系列直流電源成為業界的領先產品。由於在真空環境下的經久耐用,這些適應於惡劣環境的電源經常被作為直流磁控管濺射傳動而受到廣泛應用。該產品系列還提供精密的調節性能,如射頻濺射中的偏壓電源和蝕刻系統。緊密的設計使之成為實驗室系統首選解決方案。 |
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