3月20日,全球规模最DA、规格最GAO的半导体产业年度盛会SEMICON China 2019国际半导体展在上海新国际博览中心盛大开幕,吸引了全球超过1000家展商及50000名专业观众积极参与。GENTEC®捷锐也携多款产品亮相本届展会,展示了阀门分流箱、特气控制面板及超高纯减压器等在半导体行业中蕴藏的巨大价值,吸引了众多观众到场参观体验。
双瓶全自动气瓶柜:
l 半导体行业特气气瓶柜,用于小流量工艺气体的气源;
l 双瓶自动切换可实现连续供气,自动吹扫以防止危险气体泄漏并保证工艺气体纯度;
l 阀门管件均采用316L不锈钢,内表面EP处理,避免杂质的产生;
l 配备有压力传感器、过流保护开关、高温探头、抽真空装置及高精度过滤器等装置;
l 采用西门子的PLC控制,稳定可靠,触摸屏人机交互界面清晰直观,操作方便;
l 根据气体性质不同可选配面板加热,红外紫外火焰探测器等配置,适用范围广。
半自动阀门分流箱:
l 半导体行业特气阀门分流箱,用于特气主管道到各工艺几台之间的分流;
l 阀门管件均采用316L不锈钢,内表面EP处理,避免杂质的产生;
l 主管道配有压力传感器,有超压报警功能并可与气柜联动;
l 各支路可单独供气和吹扫,采用开关控制气动阀操作方便;
l 各支路单独调压,满足不同工艺几台的需求;
l 各支路均配有高精度过滤器,保证工艺气体的纯度。
为客户提供安全及物超所值的产品与服务,是捷锐的经营使命。欲了解更多GENTEC捷锐®特气相关产品,欢迎光临捷锐官网,或致电捷锐,捷锐全体员工期待为您服务。
捷锐企业(上海)有限公司诚邀您共赴ACCSI2023第十六届中国科学仪器发展年会
重磅推介丨R51SL 系列抗强腐蚀减压器
直击!SNEC 2021捷锐风采
捷锐出席“中国科学仪器发展年会”
相关产品
GENTEC捷锐-SL2500系列切换柜/控制系统
GENTEC捷锐-P2400 系列半自动切换控制面板
GENTEC捷锐-BS3100系列备用气体控制面板
GENTEC捷锐-P4500系列特气控制终端
GENTEC捷锐-P4400系列特气控制终端
GENTEC捷锐-P4100系列特气控制终端
GENTEC捷锐-P4200系列特气控制终端
GENTEC捷锐-P4000系列特气控制终端
GENTEC捷锐-P3300/P3400/P3500双侧式汇流排
GENTEC捷锐-P3200系列单侧式特气汇流排
GENTEC捷锐-P3500系列低压特气控制面板
GENTEC捷锐-P3500系列高压特气控制面板
GENTEC捷锐-P3400系列低压特气控制面板
GENTEC捷锐-P3400系列高压特气控制面板
GENTEC捷锐-P3300系列高压特气控制面板
关注
拨打电话
留言咨询