方案摘要
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摘 要：纳米压印技术通过压印实现了纳米结构的图形转移，具有分辨率高、效率高、成本低的优点。通过对纳米压印过程中影响图形精度的一些因素进行分析，提出了相应的解决方法。结合研制的NiL-1型压印机进行工艺实验，给出纳米压印工艺实验的结果，并对结果进行了分析。 试验表明：考虑到影响压印图形精度的各种因素，采用镀有Cr的SiO2模版和NiL-1型压印机，用热压印技术可以压印出具有100nm特征尺寸的PMMA图形。
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