瑞士Safematic真空镀膜仪(喷金喷碳仪)中文样本

2024-06-27 20:53  下载量:0

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瑞士Safematic镀膜仪分为低真空和高真空两个版本,型号分别是CCU-010 LV和CCU-010 HV;均采用插入式设计,通过更换和选用镀膜头就可轻松配置为磁控离子溅射、热蒸发镀碳或两者一体化镀膜设备;都标配FTM装置;CCU-010 HV标配内置分子泵和无油隔膜泵的高真空度系统;CCU-010 LV后期可升级为HV版本。 1. 溅射头:SP-010常规溅射头和SP-011高效溅射头。对于C、Fe(磁性)等“困难”靶材,推荐HV+SP-011。 2. 镀碳头:CT-010镀碳头,适合SEM、TEM和任何需高质量碳膜的应用场合。它具有欧洲专利的自动进给系统,可进行数十次镀膜而无需破真空更换碳源,一次真空下可控沉积几乎任何厚度的优质碳膜。 3. 辉光放电:GD-010模块装在CT-010镀碳头上,可对碳膜进行亲水化处理。亦可作为辉光放电仪,用于冷冻电镜载网亲水等处理。 4. 等离子刻蚀:ET-010模块可在镀膜前先对样品进行等离子清洁刻蚀处理,增加成膜附着力;亦可在镀膜后进行刻蚀处理,以便去除膜层或进一步清洁。 5. 远程控制软件:RC-010基于win的远程控制软件,用于手套箱等。

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