英国EM R公司出品的PMMA系列光刻胶技术资料(1%-17%电子束曝光阻剂)

2014-05-29 11:09  下载量:20

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Made in UK, 英国EM Resist Ltd出品的光刻胶(1%-17% PMMA、SML系列电子束曝光阻剂),PMMA是常用的普通正阻剂;SML系列阻剂是高分辨率高深宽比的正阻剂。高档的SML正阻剂特点:无需邻近效应校正,低加速电压下也能使用,可提高EBL设备能力并制作出传统PMMA做不出来的新颖微纳器件,特别适合科研应用;有SML50、SML100、SML300、SML600、SML1000、SML2000等系列型号(数字表示光刻胶涂布厚度)。(www.tansi.com.cn).

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