海能仪器：硫磷混酸体系用于半导体研磨剂（液）微波消解（微波消解法）

2016/05/27   下载量： 4 次

方案摘要

方案下载
应用领域 环保
检测样本 固体废物
检测项目
参考标准 暂无

磨削和研磨等磨料处理是生产半导体晶片必要方式，抛光和平面化对生产微电子原件来说是十分重要的。因此研磨剂的配方以及研磨剂的品质管控，对于半导体产品影响深远。我们需要找到一种有效的成分分析方法，来解决研磨剂成分分析。下面，本文以某研磨剂为样本，探索研磨剂的微波消解方法。

方案下载
上一篇 凯氏定氮仪测定异佛尔酮二异氰酸酯中的氮含量
下一篇 海能仪器：山地土壤含氮量的测定（凯氏定氮法）

文献贡献者

海能未来技术集团股份有限公司
钻石会员 丨 第18年
查看全部资料
相关仪器 更多
相关方案
更多

相关产品

当前位置： 海能技术 方案 海能仪器：硫磷混酸体系用于半导体研磨剂（液）微波消解（微波消解法）

关注

拨打电话

留言咨询